電子束蒸發(fā)鍍膜儀以電子束蒸發(fā)方式鍍膜設(shè)備，主要用于制備各種導(dǎo)電薄膜、半導(dǎo)體薄膜、鐵電薄膜、光學(xué)薄膜，微納器件微加工，電鏡樣品預(yù)處理等，尤其適用蒸鍍各種難熔金屬材料。不僅可用于玻璃片、硅片等硬質(zhì)襯底，也可用用于PDMS、PTFE、PI等柔性襯底上鍍膜

電子束蒸發(fā)鍍膜儀技術(shù)參數(shù)：

產(chǎn)品名稱	電子束蒸發(fā)鍍膜儀
產(chǎn)品型號(hào)	TN-EBH500-SS
樣品臺(tái)	外形尺寸	<150mm，樣品臺(tái)可旋轉(zhuǎn)
	可調(diào)溫度	≦500℃
電子槍	新型電子槍，6孔坩堝
加熱燈	4只鹵素加熱燈用于除氣，1個(gè)氖燈用于照明
真空腔體	腔體尺寸	Φ500*H500mm
	觀察窗口	直徑φ100mm
	腔體材質(zhì)	304不銹鋼
	開(kāi)啟方式	前開(kāi)門(mén)式
膜厚測(cè)量	采用SQM160膜厚儀進(jìn)行監(jiān)控，涂層厚度不均勻度小于6%。
真空系統(tǒng)	前級(jí)泵	雙極旋片泵，氣體抽速1.1L/S
	次級(jí)泵	渦輪分子泵,氣體抽速600L/S
	真空測(cè)量	復(fù)合真空計(jì)(電離規(guī)+電阻規(guī))
	系統(tǒng)真空	5×10-5Pa
水冷系統(tǒng)	水壓<2.5bar 水壓監(jiān)測(cè)
加熱燈	4只鹵素加熱燈用于除氣，1個(gè)氖燈用于照明
電極接口	帶2路金屬蒸發(fā)電極接口
控制系統(tǒng)	CYKY自研專業(yè)級(jí)控制器
其他參數(shù)	供電電源	AC380V,50Hz
	整機(jī)尺寸	1000mm×800mm×1500mm
	整機(jī)功率	20KW
	整機(jī)重量	350kg