高通量超聲波熱解噴涂是通過在加熱的表面上噴涂溶液來沉積薄膜的過程，在該表面上，成分發(fā)生反應(yīng)以形成化合物。 該方法對于氧化物的沉積特別有用，并且長期以來是用于將氧化錫（SnO2）或氧化錫的透明電導(dǎo)體施加到玻璃基板上的生產(chǎn)方法。 現(xiàn)在，該技術(shù)越來越多地用于制備鈣鈦礦薄膜和電池電極。

CY-SP-04-HT是一種高通量噴霧熱解系統(tǒng)，它攜帶三種類型的溶液，并按編程直徑*大18 mm涂覆不同的組合物組合。 基板多達(dá)36個(gè)位置。 涂層室是可抽真空的，允許在受控氣氛下進(jìn)行噴霧裂解。 這是一種智能設(shè)備，可以更快地探索新一代材料，用于電池電極和鈣鈦礦太陽能電池。

高通量超聲波熱解噴涂技術(shù)參數(shù)：

輸入電壓	208 - 240V, 50/60Hz , 單相 總功率：3000W
噴　嘴	包括兩個(gè)噴嘴 壓縮空氣噴嘴，用于厚膜涂層 具有150W 120Khz發(fā)生器的超聲波噴頭，溶液粘度<30 cps。 隨附一個(gè)數(shù)字FMC，用于在恒定壓力下為噴嘴輸送復(fù)雜的氣體。
注射泵	包括四個(gè)注射泵。 三種用于混合和涂布溶液，一種用于清洗D水。 標(biāo)準(zhǔn)注射器容量：60 ml（其他容量可選）   線速度范圍：1 μm / min --- 120 mm / min可調(diào)（流速=線速度x注射器中的橫截面積） 精度：≦±0.5％（當(dāng)> 30％FS時(shí)） 控制：注射泵由自我數(shù)字控制面板或主觸摸屏控制面板控制。
溶液混合	噴涂前，將三種溶液混合并分散在小容器中。 容器尺寸：Φ25x100mmH（?50ml） 葉片攪拌速度：120 RPM
可加熱真空室	腔室由不銹鋼制成 箱體尺寸：650 x 600 x 500mm *大限度。 真空極限：包括機(jī)械泵的20托，包括 通過30段可編程控制器在+/- 10°C下進(jìn)行溫度控制.
處理平臺(tái)	精密的X-Y-Z行程機(jī)構(gòu)內(nèi)置在真空室內(nèi)，它將攜帶噴嘴到所需位置以進(jìn)行局部涂覆。 移動(dòng)距離:( X-Y軸）*大200毫米Z軸：*大60毫米 行駛速度：1mm / s-12mm / s 一組帶有36個(gè)圓柱面罩的基板安裝在腔室的底部。 標(biāo)準(zhǔn)圓柱面罩尺寸：直徑18毫米。 其他尺寸可根據(jù)要求提供。 加熱板安裝在基板的底部以進(jìn)行熱解處理。 溫度范圍：RT-*大500oC。 （<30分鐘） 溫度均勻度：≤±5℃
控制按鈕	7“觸摸屏控制面板安裝在腔室的前部，可對所有噴涂參數(shù)進(jìn)行編程和控制。 真空時(shí)間和惰性氣體吹掃時(shí)間是可編程的。 在三個(gè)注射器泵中到每個(gè)氣缸面罩的流量和噴涂時(shí)間可編程，以形成不同的成分，并自動(dòng)進(jìn)行36位噴涂。 可以在控制面板中存儲(chǔ)128個(gè)配方，以自動(dòng)實(shí)現(xiàn)一鍵式操作。 可以使用手動(dòng)操作模式來實(shí)現(xiàn)點(diǎn)對點(diǎn)涂層。
尺寸	1100L x 730W x 1500 H, mm
重量	大約1000 公斤
注意	一年有限保修，提供終身支持（可在購買前進(jìn)行演示）