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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱(chēng):雙溫區(qū)滑道旋轉(zhuǎn)管式爐CVD系統(tǒng)

  • 產(chǎn)品型號(hào):
  • 產(chǎn)品廠商:泰諾
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡(jiǎn)單介紹:
雙溫區(qū)滑道旋轉(zhuǎn)管式爐CVD系統(tǒng)十分適合在氣氛保護(hù)的環(huán)境下連續(xù)對(duì)粉末材料用CVD方法進(jìn)行包裹和修飾,雙溫區(qū)滑道旋轉(zhuǎn)管式爐CVD系統(tǒng)通過(guò)機(jī)械傳動(dòng)控制工作管能360°不間斷旋轉(zhuǎn),爐體在支架上能夠前后滑動(dòng),可以實(shí)現(xiàn)快速升降溫
詳情介紹:

雙溫區(qū)滑道旋轉(zhuǎn)管式爐CVD系統(tǒng)

1.本產(chǎn)品主體結(jié)構(gòu)是雙溫區(qū)滑道旋轉(zhuǎn)管式爐,爐管中部有混料隔板,能夠隨著爐管的旋轉(zhuǎn)將粉體或者顆粒反復(fù)混合,

2.通過(guò)機(jī)械傳動(dòng)控制工作管能360°不間斷旋轉(zhuǎn),使得管內(nèi)物料攪拌混合獲得均勻受熱效果;

3.爐體在支架上能夠前后滑動(dòng),可以實(shí)現(xiàn)快速升降溫。

4.設(shè)備配有兩路浮子流量計(jì),可用于向路管內(nèi)通入兩種氣體,

5.同時(shí)設(shè)備配有高性能機(jī)械泵,能夠快速將爐管抽至真空;通過(guò)泵和氣路的配合可以實(shí)現(xiàn)多種CVD工藝。

6.旋轉(zhuǎn)裝置十分適合在氣氛保護(hù)的環(huán)境下連續(xù)對(duì)粉末材料用CVD方法進(jìn)行包裹和修飾。

技術(shù)參數(shù)

雙溫區(qū)管式爐

產(chǎn)品型號(hào)

TN-O1200-60IIT-R

設(shè)備功率

3KW

爐管材質(zhì)

高純石英

爐管直徑

60mm

爐管長(zhǎng)度

1600mm

爐膛長(zhǎng)度

440mm

加熱區(qū)長(zhǎng)

200mm+200mm

工作溫度

0~1150℃

極限溫度

1200℃

控溫精度

±1℃

控溫模式

30段或50段程序控溫

顯示模式

高清全彩LCD觸控屏

密封方式

304不銹鋼真空法蘭

供電電源

AC:110V 50/60Hz  2.5kW

滑軌長(zhǎng)度

2030mm,可滑動(dòng)范圍1500mm

旋轉(zhuǎn)速度

0~20rpm

2路浮子流量計(jì)

產(chǎn)品型號(hào)

CY-2F

氣路數(shù)量

2路

流量計(jì)類(lèi)型

浮子流量計(jì)

測(cè)量范圍

A路:0~160mL/min; B路:0~100mL/min

測(cè)量精度

4%

管道耐壓

不銹鋼管,耐壓3MPa

流量計(jì)耐壓

1標(biāo)準(zhǔn)大氣壓

管路接口

φ8mm快擰接口

真空系統(tǒng)

真空泵

雙極旋片泵

抽速

1.1L/s

抽氣接口

KF16

泵極限真空度

10E-1Pa

供電

AC110V 50/60Hz

 

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