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產(chǎn)品詳情
簡單介紹：
等離子體測(cè)試設(shè)備是高校實(shí)驗(yàn)室進(jìn)行等離子體相關(guān)性質(zhì)研究的必備儀器。該等離子體測(cè)試設(shè)備的電感線圈采用水冷設(shè)計(jì)，外殼另有散熱風(fēng)扇，保證了整套設(shè)備長時(shí)間工作的穩(wěn)定性
詳情介紹：
等離子測(cè)試設(shè)備主要部件為一個(gè)電感耦合的等離子發(fā)生器，發(fā)生器能夠在電感線圈內(nèi)部的石英管內(nèi)產(chǎn)生等離子體，石英管兩側(cè)的法蘭配有觀察窗，用戶可以在觀察窗上觀察實(shí)驗(yàn)現(xiàn)象或者用其他儀器測(cè)量相關(guān)參數(shù)。設(shè)備采用觸控屏控制，屏幕集成所有實(shí)驗(yàn)功能，如抽放真空、流量控制、射頻電源調(diào)節(jié)等。同時(shí)電感線圈采用水冷設(shè)計(jì)，外殼另有散熱風(fēng)扇，保證了整套設(shè)備長時(shí)間工作的穩(wěn)定性。該設(shè)備是高校實(shí)驗(yàn)室進(jìn)行等離子體相關(guān)性質(zhì)研究的必備儀器。
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名稱 |
等離子測(cè)試設(shè)備 |
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特點(diǎn) |
a.觸控屏控制 b.石英管兩側(cè)的法蘭配有觀察窗 c.水冷電感線圈,外殼另有散熱風(fēng)扇 d.電感耦合的等離子發(fā)生器 |
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參數(shù) |
1.供電電壓 AC220V，50Hz 2.*大功率 1KW 3.耦合方式 電感耦合 4.石英腔體 O.Dφ30mm X 150mm 壁厚3.5mm 5.觀察窗尺寸 φ30mm 6.真空接口 KF16 7.進(jìn)氣口接口 6.35mm 卡套接頭 8.質(zhì)量流量計(jì) Ar標(biāo)定 量程100sccm 9.真空泵 雙極旋片真空泵 10.極限真空度 0.1Pa11.冷卻方式 水冷銅管+風(fēng)冷殼體 12.射頻電源 *大輸出功率300W自動(dòng)匹配 13.頻率 13.56MHz |
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規(guī)格 |
整機(jī)尺寸 560mm X 620mm X 620mm |
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